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晶片框架盒不会选?点击看这里 快速了解

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2020-03-10 17:23【

晶片框架盒(晶舟盒):是半导体制造行业,搭配晶片自动化机台重要的承载保护运输装置,是各个制程中承担重要的关键载具。

因为在不同制程中,Cassette的材质特性在制程中要求是比较苛刻的,所以一旦发生错误的选择,就会带来比较大的生产损失。

一般来讲晶圆片框架盒应用是根据不同制程工艺,用以区分不同特性,如在酸碱制程,选用金属材质的承载框架是极易被腐蚀变形的,所以在酸碱制程中选择耐强酸强氟酸强碱PFA材质才合适使用,具体的材质特性可以参考DOHONE美高梅的cassette材质应用表:

从上面表格中我们可以非常清楚的知道各种材质的特性,在制程中不同的应用。

当然了,这里是只从材质的特性简单的作了一些分析说明,如果想要了解更多的详情和细节可以联系美高梅客服400-037-3188,十多年从事专注半导体承载载具制造和解决方案,100+客户案例,根据不同制程所搭载的自动化设备客制化加工各类精密晶圆/硅片载具。提供专业的产品解决方案。

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